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    　廢水治理的種類

　　由于半導(dǎo)體公司的產(chǎn)品不同，各公司生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水種類都不一樣，各公司對產(chǎn)生的廢水來源不一樣所進(jìn)行的分類也不一樣?？偟膩硭?，半導(dǎo)體行業(yè)的廢水可以分為含氟廢水、含磷廢水、有機廢水、研磨廢水、氨氮廢水和酸堿廢水。如無錫華潤上華沒有含磷廢水，上海天馬沒有研磨廢水。

　　廢水治理的來源

　　含氟廢水主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴散工序及化學(xué)機械研磨工序，在對硅片及相關(guān)器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機廢水，由于生產(chǎn)工藝的不同，有機溶劑的使用量對于半導(dǎo)體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑，有機溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機廢水排放。有機廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。